真空机械手SRBZ820C-SMSX/G
关键字导读： ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS
彩亿电商买彩票描述：磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计具有手臂长度、自由度可选，手指及接口用户可定制的特征，耐高温、耐腐蚀，动态纠偏和碰撞保护功能。
简介
彩亿电商买彩票Introduction
机械手采用耐高温手指有隔热设计，可用于放置高温托盘，短时间耐高温300℃以上。指部、腕部灵巧的设计理念降低了接触面的表面粗糙度，加大热阻。同时具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。具有更灵敏的碰撞保护功能，有效保护机械手和客户晶圆。全新的轨迹规划，提高运动节拍，提高了用户产能。在半导体前道高端设备中广泛应用，推动了国内半导体产业链的进步，有效的支撑了国内设备商的发展。
参数
Parameter
| 结构形式Mechanical Structure | 柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
|---|---|---|
| 密封方式Seal way | 磁流体密封Ferro-Fluidic Sealing | |
| 自由度数DOF | 2 | |
| 负载Payload | 名称name | 托盘Tray |
| 直径diameter | Φ300mm | |
| 重量weight | 1.5kg | |
最大运动范围 Moving Range | R轴（mm）R-Axis | 立柱中心至R轴最大伸展处被搬运物体中心距离820 Distance from pillar center to the moving objects center of the biggest R-axis stretching is R820mm |
| θ轴（°）θ-Axis | 360 | |
全行程最小时间 Minimum running time | R轴（s）R-Axis | 2.5 |
| θ轴（s）θ-Axis | 3.5 | |
重复定位精度 Repeatability | θ轴（°）θ-Axis | ±0.01（3σ） |
| R轴（mm）R-Axis | ±0.1（3σ） | |
重量Weight | 机械手本体Main-body | 41kg |
| 控制器Controller | 15kg | |
| 耐真空度Base Pressure (Pa) | 10-5Pa | |
| 漏率leak rate | <1*10E-8Mbar*L/s | |
| 碰撞保护Collision Protect Function | 盘片和机械手无损伤Disc and robot without damage | |
| 隔热设计 | 指部隔热块 | |
| 承载温度 | 300℃ | |
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